荷兰光刻机抵达深圳厂,中芯国际:非极紫外光刻机

来自:观察者网 2020-03-08

(文 / 一鸣)3 月 6 日下午,就中芯国际深圳厂区到货一台荷兰进口大型光刻机一事,该公司今天向观察者网证实:属常规设备导入,并非外界所关心的极紫外光刻机(EUV)。

值得一提的是,今天下午 2 时 30 分左右,中芯国际港股突然拉升,股价翻红后一度涨逾 3%。

据中芯国际官网介绍,其深圳厂区位于深圳市坪山区,一期 200mm(8 英寸)芯片代工厂可提供从 0.35μm 到 90nm 的晶圆制程服务。" 深圳厂的成功扩产能够支持更多 200mm 产能需求,并满足日益增长的客户及市场的需求 "。

另外,该公司总部位于上海张江高科技园区,在本地建有一座 200mm 芯片厂及一座 300mm 芯片厂,分别提供 0.35μm 到 90nm,45/40nm 到 28nm 的制程技术服务。

此前《羊城晚报》报道,3 月 4 日,中芯国际从荷兰进口的一台大型光刻机顺利通过出口加工区场站两道闸口进入厂区。报道指出,这台机器主要用于企业复工复产后的生产线扩容。

报道援引中芯国际公司关务经理罗荣慧话语称,生产线扩容后全年预计可为企业增加 10% 左右的营收。

另外,根据中芯国际近期发布的公告,其已经花费 17 亿美元分别向泛林团体、应用材料、以及东京电子购买半导体设备。

其中,向泛林团体发出的购买单总金额约 6 亿美元;应用材料购买单的总金额为 5.43 亿美元,东京电子购买单总金额应用材料购买单的总代价为 5.43 亿美元。

2018 年 5 月,中芯国际曾向荷兰阿斯麦尔(ASML)订购了一台最新型的 EUV 光刻机,价值高达 1.5 亿美元,原计划在 2019 年初交付。

不过,由于美国方面阻扰,这项交易至今仍未完成。