A股集成电路设备板块上市企业有哪些？

2022年集成电路设备概念股有：

万业企业（600641）：

5月25日消息，万业企业7日内股价下跌4.4%，最新报16.13元，市盈率为39.01。

孙公司就出售多台12英寸集成电路设备与客户签署相关合同。

北方华创（002371）：

5月25日消息，北方华创开盘报价260.42元，收盘于261.53元。5日内股价下跌1.68%，总市值为1378.83亿元。

传承五十余年电子专用设备制造经验，北方华创新能源是国内最早进入锂电装备行业的企业。

至纯科技（603690）：

5月25日至纯科技晚间复盘消息，7日内股价下跌3.06%，今年来涨幅下跌-31.84%，最新报35.93元，跌0.39%，市值为114.44亿元。

公司已成功完成了多项高纯工艺系统核心设备及相关控制软件的研发，通过使用自制设备与软件替代外购，有效降低了生产成本。