锑在硅中的最大固溶度只有5*10的19次方原子/cm3

2022-08-16 12:38 微电子工艺

锑在硅中的最大固溶度只有5*10的19次方原子/cm3，但某芯片埋层掺杂要求掺入锑最大浓度应达5*10的20次方原子/cm3，因此，采用（）掺杂。

正确答案：离子注入
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